台式扫描电子显微镜

一、 仪器名称 品牌与型号

台式扫描电子显微镜，荷兰Phenom-World BV，Phenom XL-Phenom XL

二、 仪器功能

用于多种材料如无机非金属材料、高分子材料、复合材料、金属材料等多种性能的表征，开展进行样品的低真空检测，导电样品及不导电样品的直接观察等科研工作

三、技术参数

   1.放大倍率：电子放大倍率达到10万倍；

   2.分辨率：分辨率优于20nm；

   3.检测器：高灵敏的背散射电子探测器；

    4.操作界面：配合光学导航和低倍电子导航；

   5.载样抽真空时间成像时间：小于40s；

   6.灯丝寿命：单根灯丝能保持1500小时寿命（设备本身有灯丝统计功能）；

   7.样品室大小：样品室样品尺寸X：100mm，Y：100mm，Z：65mm ；

    8.支持不导电样品直接观察：低真空模式，绝缘体直接观测不需喷金；

   9.能谱探测器能量分辨率：优于137eV（Mn Kα)。能谱具有拟合功能；

   10.元素探测范围：B（5）-AM（95）。