原位微纳米力学测试系统

一、 仪器名称 品牌与型号

原位微纳米力学测试系统，英国Micro Materials Ltd，Nanotest Alpha

二、 仪器功能

可以对样品表面微区进行纳米压痕、划痕，原位成像压痕或划痕后的表面形貌

三、技术参数

1.压头位移分辨率≤0.005nm，

2.最大载荷：≥ 500mN，

3.载荷分辨率：≤ 3nN，

4.最小接触力：≤1.0N，

5.仪器框架刚度：≥ 5x106 N/m